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氧化鋅、ITO、FTO激光刻蝕機(jī)

氧化鋅、ITO、FTO激光劃線機(jī)

窄脈寬紅外納秒激光刻蝕機(jī),適用于FTO、ITO、氧化鋅鍍層玻璃、薄膜激光刻蝕。設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)尺寸600*600mm、600*1200mm,可以滿足10*10mm到300*300mm內(nèi)的加工需求。

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采用窄脈寬紅外納秒激光器,適用于FTOITO、氧化鋅鍍層玻璃、薄膜激光刻蝕。設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)尺寸600*600mm600*1200mm(同時(shí)預(yù)留出小面積300*300mm內(nèi)的小幅面加工需求)。可以滿足10*10mm300*300mm內(nèi)的加工需求。

 

設(shè)備簡(jiǎn)介

設(shè)備采用固體激光器,激光波長(zhǎng)1064nm,適合對(duì)導(dǎo)電玻璃、薄膜進(jìn)行精細(xì)激光刻蝕;采用自主研發(fā)的控制軟件、直接導(dǎo)入CAD 數(shù)據(jù)進(jìn)行激光刻蝕,操作簡(jiǎn)單,方便快捷;采用通過(guò)軟件實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)振鏡與直線電機(jī)、電動(dòng)升降工作臺(tái)的設(shè)計(jì),加上真空吸附托盤裝置,能有效地解決激光刻蝕加工運(yùn)行中的平穩(wěn)性;采用獨(dú)特除塵系統(tǒng)設(shè)計(jì),能保證玻璃、薄膜與工作平面的清潔。

 

設(shè)備集數(shù)控技術(shù)、激光技術(shù)、軟件技術(shù)等光機(jī)電高技術(shù)于一體,具有高靈活性、高精度、高速度等先進(jìn)制造技術(shù)的特征。可大范圍內(nèi)進(jìn)行各種圖案,各種尺寸的精密、高速刻蝕,并且能夠保證很高的產(chǎn)能,是一個(gè)可靠、穩(wěn)定和具有高性能價(jià)格比的產(chǎn)品。

 

適用材料

玻璃、PET基底上薄膜激光刻蝕,觸摸屏、光伏太陽(yáng)能電池、電至色玻璃、其它顯示屏。可用于導(dǎo)電銀漿、ITO、FTO、氧化鋅、氧化鋯、氧化鈦、碳粉、金、銀等導(dǎo)電金屬、氧化物材料處理(只能針對(duì)單層材料激光刻蝕)。

 

整體說(shuō)明

主要構(gòu)成:激光器、光路系統(tǒng)、工作臺(tái)、控制系統(tǒng)、 定位系統(tǒng)、 抽塵系統(tǒng)、 真吸附空系統(tǒng)等。

 

主要技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

ET650-NF    氧化鋅、ITOFTO激光刻蝕機(jī)

激光器

窄脈寬紅外納秒激光器,波長(zhǎng)1064nm

加工幅面

600*600mm/1200*600mm(可定制)

聚焦光斑

20μm

激光器頻率調(diào)節(jié)范圍

100K-500KHz

刻蝕最小線寬

≥20 um(最大可以去除95%以上的氧化物鍍層)

整機(jī)精度

±20μm

最小線間距

20μm

工作臺(tái)定位精度

±2um

工作臺(tái)重復(fù)精度

±1um

CCD自動(dòng)定位精度

±2um

刻蝕速度

4000mm/s

設(shè)備尺寸

1650mmL×1500mmW×1750mmH

設(shè)備重量

1800kg

功率消耗

3000W

可處理文件格式

標(biāo)準(zhǔn)CAD DXF文件

注:根據(jù)實(shí)驗(yàn)室前期實(shí)驗(yàn)性階段需要,武漢元祿光電針對(duì)性開(kāi)發(fā)出了實(shí)驗(yàn)室階段小型激光刻蝕機(jī),適用于100*100mm以下導(dǎo)電玻璃激光刻蝕、劃線應(yīng)用,歡迎前來(lái)咨詢了解。


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